三菱ケミカル、最先端半導体向け超高純度コロイダルシリカの事業化を発表

三菱ケミカル、超高純度コロイダルシリカの事業化を決定

三菱ケミカル株式会社が、このたび最先端半導体向けの研磨剤としての超高純度コロイダルシリカの事業化を正式に発表しました。この新しい取り組みは、九州事業所、具体的には福岡県北九州市に新設される生産設備で行われ、2028年10月より営業を開始する予定です。

コロイダルシリカとは

コロイダルシリカは、半導体製造において重要な役割を果たす材料です。特に、シリコンウエハの研磨スラリーや、CMP（Chemical Mechanical Polishing）スラリーの原料として使用されます。この材料は、ナノレベルでの平坦化を可能にし、高い除去率を実現するために、非常に高い純度と特定の粒子形状が求められます。特にシリコンウエハ配線層の研磨では、スクラッチの発生を抑えながらも効率的に研磨を行うために、コロイダルシリカの特性が非常に重要です。

高純度の製品化

三菱ケミカルが新たに事業化する超高純度コロイダルシリカは、テトラメトキシシランという極めて高純度な原料から一貫して生産されます。この生産プロセスにより、不純物の含有を大幅に抑えることができます。さらに、同社の長年にわたる高い技術力を背景に、顧客のニーズに合わせた粒子サイズや密度のカスタマイズも行えるのが大きな特徴です。

半導体市場の成長とニーズ

現在、半導体市場は生成AIやデータセンターといった先進的な分野において急成長しており、需要はますます増加しています。三菱ケミカルは、経営ビジョン「KAITEKI Vision 35」に基づき、「データ処理と通信の高度化」を重視した事業展開を進めています。このビジョンの中で、世界の最先端半導体製造に欠かせない材料の供給を担い、さらなる材料サプライチェーンの構築を目指しています。